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发明名称
摘要
申请公布号 JP2665404(B2) 申请公布日期 1997.10.22
申请号 JP19910023509 申请日期 1991.02.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/312;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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