发明名称
摘要
申请公布号 JP2551028(Y2) 申请公布日期 1997.10.22
申请号 JP19920005117U 申请日期 1992.01.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/268;H01L31/04;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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