Substrate tilt-type exposure apparatus,申请号EP19930300362-传众专利搜索

发明名称	Substrate tilt-type exposure apparatus
摘要
申请公布号	EP0561486(B1)	申请公布日期	1997.10.22
申请号	EP19930300362	申请日期	1993.01.20
申请人	ORC MANUFACTURING CO., LTD.	发明人	WATANUKI, MINORU
分类号	G03F7/20;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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