| 发明名称 |
Process for positioning of a mask relative to a workpiece and device for executing the process |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0764885(A3) |
申请公布日期 |
1997.10.22 |
| 申请号 |
EP19960115086 |
申请日期 |
1996.09.19 |
| 申请人 |
USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TANAKA, YONETA |
| 分类号 |
G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
