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发明名称 SEMICONDUCTOR COOLING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH09275171(A) 申请公布日期 1997.10.21
申请号 JP19960081224 申请日期 1996.04.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUSHIMA HITOSHI
分类号 H01L23/36;H01L23/467;(IPC1-7):H01L23/467 主分类号 H01L23/36
代理机构 代理人
主权项
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