| 发明名称 |
THIN FILM FORMING APPARATUS AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING IT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09275099(A) |
申请公布日期 |
1997.10.21 |
| 申请号 |
JP19960079901 |
申请日期 |
1996.04.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
OKAWA AKIRA;KASAHARA OSAMU;TERASAKI TADASHI |
| 分类号 |
C30B25/08;C23C16/44;C30B29/06;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
