发明名称 COATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09275050(A) 申请公布日期 1997.10.21
申请号 JP19960079732 申请日期 1996.04.02
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 SAITO NOBUYA;TADAKUMA KUNIAKI;SHIOYA MASAHIRO;OKAMOTO KEIJI;SAITO KOICHI
分类号 G03F7/16;B05C5/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
地址