FILM FORMATION METHOD,申请号JP19960083728-传众专利搜索

发明名称	FILM FORMATION METHOD
摘要
申请公布号	JPH09275103(A)	申请公布日期	1997.10.21
申请号	JP19960083728	申请日期	1996.04.05
申请人	CANON SALES CO INC;HANDOTAI PROCESS KENKYUSHO:KK	发明人	NISHIMOTO HIROKO;OHIRA KOICHI;NOGUCHI NOBUO;MAEDA KAZUO
分类号	C23C16/40;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31	主分类号	C23C16/40
代理机构		代理人
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