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发明名称 OPTICAL SENSOR AND METHOD FOR INSPECTING USING THE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH09273915(A) 申请公布日期 1997.10.21
申请号 JP19960082880 申请日期 1996.04.04
申请人 YASUNAGA:KK 发明人 NISHIMURA SHIGEO
分类号 G01B11/00;G01B11/02;G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/956;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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