| 发明名称 |
TACKY ADHESIVE FILM FOR GRINDING BACK FACE OF SEMICONDUCTOR WAFER AND PROCESSING OF SEMICONDUCTOR WAFER USING THE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09272846(A) |
申请公布日期 |
1997.10.21 |
| 申请号 |
JP19960084966 |
申请日期 |
1996.04.08 |
| 申请人 |
MITSUI TOATSU CHEM INC |
发明人 |
FUJII YASUKO;FUJII YASUHISA;KATAOKA MAKOTO;HIRAI KENTARO |
| 分类号 |
C09J7/02;C09J133/00;C09J163/00;C09J171/02;C09J175/04;H01L21/304;(IPC1-7):C09J7/02 |
主分类号 |
C09J7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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