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发明名称 DEPOSITING METHOD AND APPARATUS OF SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号 KR0120920(B1) 申请公布日期 1997.10.20
申请号 KR19920015864 申请日期 1992.09.01
申请人 FUJI DENKI KK. 发明人 SIMIZ, AKIO;TSUJI, NAOTO
分类号 C23C16/50;C23C16/40;C23C16/511;C23C16/517;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H05H1/16;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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