| 发明名称 |
Surface processing method and apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG43457(A1) |
申请公布日期 |
1997.10.17 |
| 申请号 |
SG19960011908 |
申请日期 |
1996.12.24 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORPORATION |
发明人 |
MIYAKAWA TAKUYA;SHOJI TSUTSUI;MORI YOSHIAKI |
| 分类号 |
B23K1/20;B01J19/08;C23C16/44;C23F1/12;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H05K3/34;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
B23K1/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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