发明名称 Arc control and switching element protection for pulsed dc power supply
摘要
申请公布号 SG43367(A1) 申请公布日期 1997.10.17
申请号 SG19960009840 申请日期 1996.05.20
申请人 ENI, A DIVISION OF ASTEC AMERICA, INC. 发明人 SELLERS, JEFF, C.
分类号 C23C14/34;C23C14/38;C23C14/54;H01F41/18;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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