发明名称 STRUCTURE DE TROU DE CONNEXION ISOLEE POUR DES DISPOSITIFS A SEMICONDUCTEURS ET PROCEDE DE FABRICATION.
摘要
申请公布号 FR2662854(B1) 申请公布日期 1997.10.17
申请号 FR19910006802 申请日期 1991.06.05
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 KOMARU MAKIO;KOBIKI MICHIHIRO
分类号 H01L29/80;H01L21/338;H01L29/41;H01L29/417;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/60;H01L21/335 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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