发明名称 |
STRUCTURE DE TROU DE CONNEXION ISOLEE POUR DES DISPOSITIFS A SEMICONDUCTEURS ET PROCEDE DE FABRICATION. |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2662854(B1) |
申请公布日期 |
1997.10.17 |
申请号 |
FR19910006802 |
申请日期 |
1991.06.05 |
申请人 |
MITSUBISHI DENKI KK |
发明人 |
KOMARU MAKIO;KOBIKI MICHIHIRO |
分类号 |
H01L29/80;H01L21/338;H01L29/41;H01L29/417;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/60;H01L21/335 |
主分类号 |
H01L29/80 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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