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发明名称 WÄRMEISOLIERUNGS-MIKROSTRUKTUR
摘要
申请公布号 DE69218796(T2) 申请公布日期 1997.10.16
申请号 DE19926018796T 申请日期 1992.06.11
申请人 HONEYWELL, INC., MINNEAPOLIS, MINN., US 发明人 HOCKER, G., BENJAMIN, MINNETONKA, MN 55345, US;HOLMEN, JAMES, O., MINNETONKA, MN 55343, US;JOHNSON, ROBERT, G., MINNETONKA, MN 55343, US
分类号 G01J1/02;G01J5/02;G01J5/20;H01L21/822;H01L27/04;H01L37/02;(IPC1-7):G01J5/20 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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