发明名称 |
PROCEDIMIENTO PARA FABRICAR PELICULAS Y DISPOSITIVOS SUPERCONDUCTORES DE OXIDO DE TI-PB-SR-CA-CU. |
摘要 |
UN PROCESO PARA OBTENER UNA PELICULA FINA DE TL LA FORMULA TL0''5PB0''5SR2CA1 + MCU2 + NO7 + 2N, DONDE N = 0''1 O 2. EL PROCESO COMPRENDE LA PULVERIZACION IONICA DE UNA PELICULA DE OXIDO SOBRE UN SUSTRATO DIELECTRICO, PARTIENDO DE UN BLANCO DE OXIDO QUE CONTENGA CANTIDADES PRESELECCIONADAS DE TL, PB, SR, CA Y CU, Y CALENTANDO UNA ATMOSFERA QUE CONTENGA OXIGENO EN LA PELICULA DEPOSITADA, EN PRESENCIA DE UNA FUENTE DE OXIDO DE TALIO Y OXIDO DE PLOMO, Y ENFRIANDO LA PELICULA.
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申请公布号 |
ES2104934(T3) |
申请公布日期 |
1997.10.16 |
申请号 |
ES19920913587T |
申请日期 |
1992.06.08 |
申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY |
发明人 |
KOUNTZ, DENNIS, JAMES;PELLICONE, FRANK, MATTHEW |
分类号 |
C01G1/00;C01G21/00;C23C14/34;C30B29/22;C30B33/02;H01L;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 |
主分类号 |
C01G1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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