发明名称 PROCEDIMIENTO PARA FABRICAR PELICULAS Y DISPOSITIVOS SUPERCONDUCTORES DE OXIDO DE TI-PB-SR-CA-CU.
摘要 UN PROCESO PARA OBTENER UNA PELICULA FINA DE TL LA FORMULA TL0''5PB0''5SR2CA1 + MCU2 + NO7 + 2N, DONDE N = 0''1 O 2. EL PROCESO COMPRENDE LA PULVERIZACION IONICA DE UNA PELICULA DE OXIDO SOBRE UN SUSTRATO DIELECTRICO, PARTIENDO DE UN BLANCO DE OXIDO QUE CONTENGA CANTIDADES PRESELECCIONADAS DE TL, PB, SR, CA Y CU, Y CALENTANDO UNA ATMOSFERA QUE CONTENGA OXIGENO EN LA PELICULA DEPOSITADA, EN PRESENCIA DE UNA FUENTE DE OXIDO DE TALIO Y OXIDO DE PLOMO, Y ENFRIANDO LA PELICULA.
申请公布号 ES2104934(T3) 申请公布日期 1997.10.16
申请号 ES19920913587T 申请日期 1992.06.08
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 KOUNTZ, DENNIS, JAMES;PELLICONE, FRANK, MATTHEW
分类号 C01G1/00;C01G21/00;C23C14/34;C30B29/22;C30B33/02;H01L;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
主权项
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