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发明名称 Vorrichtung zur Positionsdetektion zwischen zwei Objekten
摘要
申请公布号 DE68928093(T2) 申请公布日期 1997.10.16
申请号 DE19896028093T 申请日期 1989.09.07
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUGU, MASAKAZU, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;YOSHII, MINORU, TOKYO, JP;ABE, NAOTO, ISEHARA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G03F9/00;(IPC1-7):G03F9/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
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