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发明名称 HANDOTAISOCHI
摘要
申请公布号 JP2664544(B2) 申请公布日期 1997.10.15
申请号 JP19900417489 申请日期 1990.12.27
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 TO KAZUHITO
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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