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发明名称 GAASUEHAOYOBISONOSEIZOHOHONARABINIGAASUEHAHENOIONCHUNYUHOHO
摘要
申请公布号 JP2662453(B2) 申请公布日期 1997.10.15
申请号 JP19900210020 申请日期 1990.08.07
申请人 SUMITOMO DENKI KOGYO KK 发明人 NAKAI RYUSUKE
分类号 H01L21/324;H01L21/265;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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