发明名称 Element-isolated hydrogen-terminated diamond semiconductor device and its manufacturing method
摘要
申请公布号 EP0702403(A3) 申请公布日期 1997.10.15
申请号 EP19950114310 申请日期 1995.09.12
申请人 TOKYO GAS CO., LTD. 发明人 YAMASHITA, SATOSHI;KAWARADA, HIROSHI;ITOH, MASAHIRO;NAKAMURA, NAOFUMI
分类号 H01L21/04;H01L21/338;H01L21/76;H01L29/16;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/76;H01L29/04 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人
主权项
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