| 发明名称 |
Process for selective formation of II-VI group compound film |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0284435(B1) |
申请公布日期 |
1997.10.15 |
| 申请号 |
EP19880302719 |
申请日期 |
1988.03.25 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TOKUNAGA, HIROYUKI;YONEHARA, TAKAO |
| 分类号 |
C30B25/18;C30B29/48;H01L21/36;H01L21/365;H01L21/84;H01L31/032;H01L31/18;(IPC1-7):H01L21/36;C30B23/04;C30B25/04;C23C16/02 |
主分类号 |
C30B25/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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