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发明名称
SENJOSOCHIOYOBISENJOHOHO
摘要
申请公布号
JP2664298(B2)
申请公布日期
1997.10.15
申请号
JP19910215313
申请日期
1991.08.27
申请人
MITSUBISHI DENKI KK
发明人
YAMAZAKI SHIRO;OONO TOSHIKI;FUCHIGAMI KATSUNORI
分类号
H01L21/304;B08B3/02;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
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