| 主权项 |
1、一种用于光学投影系统中的M×N薄膜可致动反射镜阵列，所述的阵列包括：一个包括一基板的开关矩阵，该基板具有一个上表面且设有形成在该上表面上的第一、第二和第三导线图案，其中，第一和第二导线图案与外部电路连接并分别用来传送图象信号和驱动信号，而第三导线图案用于为各薄膜可致动反射镜提供图象信号；一个M×N对支持件阵列，其中，各支持件位于第二和第三导线图案上面；以及M×N致动结构阵列，各致动结构包括第一、第二、中央、第三和第四突出部分，而各突出部分之间又有间隙把它们隔开，各致动结构还包括一个反射层、一个弹性层和一个电致位移层，各致动结构还包括一对致动器和一对门致动器，各致动器和门致动器具有近端和远端，如果该对中的各门致动器分别位于第二和第三突出部分下面，则该对中的各致动器就位于第一和第四突出部分下面，或者是如果该对中的各门致动器分别位于第一和第四突出部分下面时，各致动器就位于第二、第三突出部分下面，该对中的各致动器和该对中的各门致动器通过其近端从各支持件悬伸出来，每个门致动器在其远端还设有附于其下面的一绝缘层及附于该绝缘层下面的一导电层，其中通过第二导线图案提供的驱动信号被施加到各门致动器上，使该对门致动器向下弯曲，从而迫使各门致动器上的该导电层与第一和第三导线图案接触，从而使来自第一导线图案的图象信号被传送到第三导线图形，并进而传至各致动器，使各致动结构中的该对致动器倾斜，使其中央突出部分保持平面地倾斜，从而使该中央突出部分整体反射光束。 |
