发明名称 HANDOTAISOCHI
摘要
申请公布号 JP2664527(B2) 申请公布日期 1997.10.15
申请号 JP19900189903 申请日期 1990.07.16
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 FUJII TAKAYUKI
分类号 H01L29/812;H01L21/28;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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