发明名称 Fabrication methods for micromechanical elements
摘要
申请公布号 EP0522787(B1) 申请公布日期 1997.10.15
申请号 EP19920306093 申请日期 1992.07.01
申请人 XEROX CORPORATION 发明人 BOL, IGOR I.
分类号 F16C33/14;G03F7/00;C23F17/00;B23P11/00;B23P15/00;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 F16C33/14
代理机构 代理人
主权项
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