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发明名称
Method and apparatus for evaluating the thickness of thin films
摘要
申请公布号
EP0549166(B1)
申请公布日期
1997.10.15
申请号
EP19920311080
申请日期
1992.12.04
申请人
THERMA-WAVE INC.
发明人
FANTON, JEFFREY T.;ROSENCWAIG, ALLAN;OPSAL, JON
分类号
G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06;G01N21/21
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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