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发明名称
CMOSSHUSEKIKAIRODEBAISUNOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号
JP2663402(B2)
申请公布日期
1997.10.15
申请号
JP19880234681
申请日期
1988.09.19
申请人
ESU JII ESU TOMUSON MAIKUROEREKUTORONIKUSU INC
发明人
FUU TAI RYUU;YUU PIN HAN;FURANKU RANDORUFU BURAIANTO
分类号
H01L27/092;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/823
主分类号
H01L27/092
代理机构
代理人
主权项
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