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发明名称 KADENBIIMUROKOHOHO
摘要
申请公布号 JP2663063(B2) 申请公布日期 1997.10.15
申请号 JP19910139858 申请日期 1991.06.12
申请人 FUJITSU KK 发明人 YAMAZAKI SATORU;YASUDA HIROSHI;SAKAMOTO JUICHI
分类号 H01L21/027;H01J37/317;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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