| 发明名称 |
OZONHATSUSEIHOHOOYOBIKOREOMOCHIITAATSUSHINGUHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2662656(B2) |
申请公布日期 |
1997.10.15 |
| 申请号 |
JP19880320284 |
申请日期 |
1988.12.19 |
| 申请人 |
TOKYO EREKUTORON KK |
发明人 |
MATSUMURA KIMIHARU;SHIRAKAWA HIDEKAZU |
| 分类号 |
B01J19/08;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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