| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Maskieren oder Abdecken von Substraten 27 für eine Zerstäubungskathode 2 mit einem Mittelmaskenführungsteil 56, an dem eine das Substrat 27 abdeckende Mittelmaske 26 angeordnet ist, die mit einer Außenmaske 4 derart zusammenwirkt, daß beim Beschichtungsvorgang nur der nicht abgedeckte Teil 57 des Substrats 27 beschichtet wird. Die Innen- und/oder die Außenmaske 4, 26 sind unabhängig voneinander in Richtung der Längsmittelachse 58 verstellbar. <IMAGE></p> |
