| 发明名称 |
KINZOKUIONGENOYOBIKINZOKUIONSEISEIHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2664094(B2) |
申请公布日期 |
1997.10.15 |
| 申请号 |
JP19900512100 |
申请日期 |
1990.08.31 |
| 申请人 |
FURAUNHOOFUAA G TSUA FUORUDERUNGU DEA ANGEUANTEN FUORUSHUNGU EE FUAU |
发明人 |
KURUGE ANDOREASU;NERE PEETAA |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J27/22;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/322;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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