| 发明名称 |
SUBSTRATE TREATMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09270408(A) |
申请公布日期 |
1997.10.14 |
| 申请号 |
JP19960078972 |
申请日期 |
1996.04.01 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
YOSHITANI MITSUAKI |
| 分类号 |
G02F1/1333;B05C5/02;B05C11/08;B08B3/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304;G02F1/133 |
主分类号 |
G02F1/1333 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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