发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH09268097(A) 申请公布日期 1997.10.14
申请号 JP19960082454 申请日期 1996.04.04
申请人 JAPAN ENERGY CORP 发明人 OHASHI YUJI;NOZAKI TATSUYA
分类号 C30B15/14;C30B27/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B27/02 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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