发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09270425(A) 申请公布日期 1997.10.14
申请号 JP19960077418 申请日期 1996.03.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HATAKEYAMA KAZUO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
地址