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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH09270510(A) 申请公布日期 1997.10.14
申请号 JP19960076421 申请日期 1996.03.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FURUKAWA MITSUMASA
分类号 H01L21/8247;H01L21/316;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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