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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF MXN PIECES OF THIN-FILM ACTUATED MIRROR ARRAY FOR LIGHT PROJECTION SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH09269456(A)
申请公布日期
1997.10.14
申请号
JP19960266845
申请日期
1996.10.08
申请人
DAIU DENSHI KK
发明人
TEI ZAIKAKU
分类号
B81B3/00;G02B5/08;G02B26/08;G03B21/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/316;H01L41/09;(IPC1-7):G02B26/08;H01L21/306
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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