发明名称 PRODUCTION OF MXN PIECES OF THIN-FILM ACTUATED MIRROR ARRAY FOR LIGHT PROJECTION SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH09269456(A) 申请公布日期 1997.10.14
申请号 JP19960266845 申请日期 1996.10.08
申请人 DAIU DENSHI KK 发明人 TEI ZAIKAKU
分类号 B81B3/00;G02B5/08;G02B26/08;G03B21/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/316;H01L41/09;(IPC1-7):G02B26/08;H01L21/306 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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