发明名称 FILM PEELING METHOD AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH09267423(A) 申请公布日期 1997.10.14
申请号 JP19960080117 申请日期 1996.04.02
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHINYA NARINOBU
分类号 G02F1/1333;B32B7/06;B32B7/10;(IPC1-7):B32B7/06;G02F1/133 主分类号 G02F1/1333
代理机构 代理人
主权项
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