| 发明名称 |
DISPOSITIF A MICROTETE PHOTOIONIQUE AUTOCOMMANDEE PAR LASER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2738578(B1) |
申请公布日期 |
1997.10.10 |
| 申请号 |
FR19950010544 |
申请日期 |
1995.09.08 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
ELOY JEAN FRANCOIS |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/28;(IPC1-7):C23C14/48;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
