发明名称 GALVANIC DEPOSITION CELL WITH A SUBSTRATE HOLDER
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur galvanischen Abscheidung einer Metallschicht auf einem Träger (87), mit einem Trägerhalter (83), der eine in Richtung der Normalen der Trägeroberfläche verlaufende angetriebene Welle (84) enthält, wobei der Kathodenstrom über die mit einer äußeren Isolierschicht versehene Welle (84) dem Träger (87) zugeführt ist, der auf einem Trägerteller (86) an dessen äußeren Rand durch einen Haltering (126) in Kontakt mit einer Kontaktplatte (108) gehalten ist, wobei die Kontaktplatte (108) auf einem Grundkörper (102) des Trägertellers (86) ruht und mittig eine Buchse (142) hat, die mit der Welle (84) verbindbar ist. Im Grundkörper (102) ist um die Buchse (142) ein Befestigungsabschnitt (104, 106) vorgesehen, in welchem ein Rohrabschnitt (146) dichtend und lösbar eingesetzt ist. Auf der Welle (84) ist ein längs ihrer Achse verschiebbarer Überwurfring (152) angeordnet, der mit dem Rohrabschnitt (146) lösbar verbindbar ist und diesen sowie die Welle (84) gegen den Eintritt des Elektrolyten abdichtet.</p>
申请公布号 WO1997037060(A1) 申请公布日期 1997.10.09
申请号 EP1997001633 申请日期 1997.04.01
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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