发明名称 GALVANIC DEPOSITION CELL WITH AN ADJUSTING DEVICE
摘要 <p>Beschrieben wird eine Einrichtung zur galvanischen Abscheidung einer Metallschicht auf einem Träger, mit einem Behälter (50) zur Aufnahme des Elektrolyten (58), mit einem mit Anodenmaterial gefüllten Anodenbehälter (56) mit einer im wesentlichen planen Austrittsfläche (89) für Metallionen des Anodenmaterials. Ein Trägerhalter (86) ist mit einer angetriebenen Welle (84) verbunden, die in einer Antriebsvorrichtung (54) auf einem Deckel (52) des Behälters (50) gelagert ist. Der Deckel (52) ist um eine Drehachse einer Schwenkvorrichtung (70) drehbar gelagert, die auf der dem Anodenbehälter (56) gegenüberliegenden Seite des Behälters (50) befestigt ist. Erfindungsgemäß ist die Trägeroberfläche in bezug auf die ihr gegenüberliegende Austrittsfläche (89) des Anodenbehälters (56) justierbar.</p>
申请公布号 WO1997037061(A1) 申请公布日期 1997.10.09
申请号 EP1997001639 申请日期 1997.04.01
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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