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发明名称 GASÄTZUNG VON SUBSTRATEN FÜR ENTFERNUNG VON OXIDSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DE69031370(D1) 申请公布日期 1997.10.09
申请号 DE19906031370 申请日期 1990.02.12
申请人 FSI INTERNATIONAL, INC., CHASKA, MINN., US 发明人 SYVERSON, DANIEL, J., ROBBINSDALE, MN 55422, US;NOVAK, RICHARD, E., PLYMOUTH, MN 55447, US;HAAK, EUGENE, L., PLYMOUTH, MN 55441, US
分类号 H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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