发明名称 CHODENDOTAIHAKUMAKUNOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2661169(B2) 申请公布日期 1997.10.08
申请号 JP19880205844 申请日期 1988.08.18
申请人 MITSUBISHI MATERIARU KK 发明人 HAGINO SADAAKI;UCHIDA HIROTO;SAKURAI TAKESHI
分类号 H01L39/24;C01G1/00;C01G3/00;C01G29/00;C04B41/87;C23C16/30;H01B12/00;H01B13/00;(IPC1-7):C01G3/00 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
地址