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发明名称 DENKAIKOKAGATAHANDOTAISOCHI
摘要
申请公布号 JP2661556(B2) 申请公布日期 1997.10.08
申请号 JP19940192944 申请日期 1994.07.25
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 TOIDA HIKARI
分类号 H01L21/20;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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