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发明名称 BANPUDENKYOKUYOMETSUKIDENKYOKUMAKUNOETSUCHINGUHOHO
摘要
申请公布号 JP2661292(B2) 申请公布日期 1997.10.08
申请号 JP19890294202 申请日期 1989.11.13
申请人 FUJI DENKI KK 发明人 MARUYAMA SUMIAKI
分类号 H01L21/306;C23F1/16;H01L21/321;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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