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发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2661770(B2) 申请公布日期 1997.10.08
申请号 JP19900106139 申请日期 1990.04.20
申请人 SHAAPU KK 发明人 ROORENSU KEISU HOWAITO
分类号 H01L21/76;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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