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发明名称 EPITAKISHARUHANDOTAIUEEHATOKUSEINOSOKUTEIHOHO
摘要
申请公布号 JP2660458(B2) 申请公布日期 1997.10.08
申请号 JP19910069372 申请日期 1991.03.11
申请人 IKUTOKU GAKUEN 发明人 OGITA YOICHIRO
分类号 G01N22/00;G01R31/26;H01L21/205;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N22/00
代理机构 代理人
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