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发明名称 System for monitoring chamber exit gases by means of absorption spectroscopy, and semiconductor processing system incorporating the same
摘要
申请公布号 EP0768525(A3) 申请公布日期 1997.10.08
申请号 EP19960402130 申请日期 1996.10.07
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 MC ANDREW, JAMES J.F.;WANG, HWA-CHI;JURCIK, BENJAMIN J.
分类号 C23C16/44;G01J3/433;G01N21/03;G01N21/35;G01N21/39;H01L21/02;(IPC1-7):G01N21/39 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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