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发明名称 PURAZUMAIONCHUNYUSOCHI
摘要
申请公布号 JP2661876(B2) 申请公布日期 1997.10.08
申请号 JP19940202497 申请日期 1994.08.26
申请人 EICHI II HOORUDEINGUSU INC DEII BII EE HYUUZU EREKUTORONIKUSU 发明人 JETSUSE ENU MATOTSUSHIAN;JON DEII UIRIAMUZU
分类号 C23C14/48;H01J27/04;H01J37/08;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/265;(IPC1-7):C23C14/48 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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