发明名称 FUKIHATSUSEIHANDOTAIKIOKUSOCHIOYOBISONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2662076(B2) 申请公布日期 1997.10.08
申请号 JP19900116240 申请日期 1990.05.02
申请人 MATSUSHITA DENSHI KOGYO KK 发明人 HIRANO KANJI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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