发明名称 ZAIRYOSONOHEITANKAHOHO
摘要
申请公布号 JP2661089(B2) 申请公布日期 1997.10.08
申请号 JP19880007091 申请日期 1988.01.18
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 JEROOMU BURETSUTO RASUKIII
分类号 H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;H01L21/762;H01L21/764;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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